蒸镀装置和用于为其生产坩埚的方法
基本信息
| 申请号 | CN201280007567.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103459650A | 公开（公告）日 | 2013-12-18 |
| 申请公布号 | CN103459650A | 申请公布日 | 2013-12-18 |
| 分类号 | C23C8/10(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23F1/18(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 尤亨·马蒂亚松 | 申请（专利权）人 | 金江水力发电集团有限公司 |
| 代理机构 | 上海翼胜专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 索里布罗有限公司;北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 地址 | 德国比特菲尔德-沃尔夫岗 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及蒸镀装置，其包含坩埚(1)和加热器(2)，该加热器被设置以用于加热在该坩埚(1)内的蒸发物料(3)，其中该坩埚(1)包含金属主体(11)和包含氧化钛(TixOy)的保护层(13)，其覆盖该金属主体(11)的内表面(12)至少一部分。此外，本发明涉及用于为这样的蒸镀装置产生坩埚的方法。 |
