薄膜太阳能电池大规模生产的制造装置与方法
基本信息
| 申请号 | CN200910126433.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101521249B | 公开（公告）日 | 2012-05-23 |
| 申请公布号 | CN101521249B | 申请公布日 | 2012-05-23 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;B22F3/00(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | D·R·霍拉斯 | 申请（专利权）人 | 金江水力发电集团有限公司 |
| 代理机构 | 中国专利代理（香港）有限公司 | 代理人 | 米亚索尔公司;米亚索乐装备集成（福建）有限公司 |
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种完全通过溅射包括高效率背接触/反射多层的制造改进的薄膜太阳能电池的方法，该背接触/反射多层包含由过渡金属氮化物组成的至少一个阻挡层。使用双圆柱体旋转磁控管技术，从特别准备的电传导靶共溅射二硒化铜铟镓(Cu(InxGal-X)Se2)吸收体层(X的范围从1至约0.1)。通过改变镓的含量，可以分级吸收体层的带隙。在硒化氢气体中，从金属合金靶反应溅射交替的吸收体层。RF溅射用于沉积不包含镉的ZnS窗口层。反应溅射顶部透明电极ZnO掺杂铝。描述了专用模块真空卷装溅射机器。该机器适于与双圆柱体旋转磁控管一体化，在单一途径中以制造改进的太阳能电池材料。 |
