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一种储片盒传输装置

基本信息

申请号 CN202011311690.4 申请日 -
公开（公告）号 CN112382597A 公开（公告）日 2021-02-19
申请公布号 CN112382597A 申请公布日 2021-02-19
分类号 H01L21/677(2006.01)I; 分类 基本电气元件;
发明人 潘忠怀 申请（专利权）人 北京七星华创集成电路装备有限公司
代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司 代理人 彭瑞欣;王婷
地址 101312北京市顺义区天竺综合保税区竺园三街6号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种储片盒传输装置，包括承载板、承载板传输组件和至少两个储片盒固定组件，承载板包括用于承载储片盒的承载面，承载面设置有导向柱，用于实现对承载于承载面的储片盒进行定位；承载板传输组件与承载板固定连接，用于驱动承载板沿传输方向移动；至少两个储片盒固定组件沿传输方向分布在承载板的两侧，且均与承载板固定连接，每个储片盒固定组件用于在传输储片盒时，将储片盒固定在承载板的承载面上。在本发明中，储片盒固定组件能够将储片盒固定在承载板的承载面上，从而在承载板带动储片盒沿传输方向移动时防止储片盒在传输过程中发生晃动，保证晶片的位置精度，提高产品良率。