基板归正装置及半导体加工设备
基本信息
| 申请号 | CN202010743524.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111863664B | 公开（公告）日 | 2022-02-25 |
| 申请公布号 | CN111863664B | 申请公布日 | 2022-02-25 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李宏岩;潘忠怀 | 申请（专利权）人 | 北京七星华创集成电路装备有限公司 |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址 | 101312北京市顺义区天竺综合保税区竺园三街6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种基板归正装置及半导体加工设备，其中，基板归正装置包括成对设置的归正组件，用于通过夹持基板以使基板位于指定位置，归正组件包括主体支架、弹性缓冲组件和测控组件，主体支架用于与基板接触，以对基板进行归正，弹性缓冲组件设置在主体支架上，用于减缓主体支架与基板接触所产生的作用力，测控组件设置在主体支架上，用于驱动主体支架移动，并对主体支架的位置进行检测及控制。本发明提供的基板归正装置及半导体加工设备，能够降低废品率，并提高生产效率。 |
