掩膜板的清洗设备
基本信息
| 申请号 | CN202110718439.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113426752A | 公开（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申请公布号 | CN113426752A | 申请公布日 | 2021-09-24 |
| 分类号 | B08B3/08（2006.01）I;B08B3/12（2006.01）I;B08B3/14（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 杨卓 | 申请（专利权）人 | 北京七星华创集成电路装备有限公司 |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址 | 101312北京市顺义区天竺综合保税区竺园三街6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请实施例提供了一种掩膜板的清洗设备。该清洗设备的槽体组件包括清洗槽及溢流槽，循环过滤组件与清洗槽及溶剂回收组件连接，用于向清洗槽供给清洗溶剂，并且能使清洗溶剂在清洗槽内循环流动；杂质吸附组件包括第一吸附装置及第二吸附装置中的至少一种，第一吸附装置设置于清洗槽与循环过滤组件之间，用于对清洗槽流出的清洗溶剂进行杂质吸附；第二吸附装置设置于溢流槽及溶剂回收组件之间，用于对溢流槽流出的清洗溶剂进行杂质吸附；溶剂回收组件用于回收溢流槽的清洗溶剂，并且通过循环过滤组件向清洗槽供给清洗溶剂，以及溶剂回收组件与一供给源连接，用于通过循环过滤组件向清洗槽供给清洗溶剂。本申请实施例能使掩膜板的清洗满足指标。 |
