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传输机构

基本信息

申请号 CN202111143262.X 申请日 -
公开（公告）号 CN113859969A 公开（公告）日 2021-12-31
申请公布号 CN113859969A 申请公布日 2021-12-31
分类号 B65G47/91（2006.01）I 分类 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料;
发明人 潘忠怀;张文平 申请（专利权）人 北京七星华创集成电路装备有限公司
代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司 代理人 彭瑞欣;王婷
地址 101312北京市顺义区天竺综合保税区竺园三街6号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请实施例提供了一种传输机构。该传输机构包括：机械臂、支撑结构、第一吸附组件和第二吸附组件；机械臂固定设置，支撑结构与机械臂连接，机械臂用于带动支撑结构移动或旋转；第一吸附组件和第二吸附组件均设置于支撑结构的同一面上，第一吸附组件和第二吸附组件均用于在支撑结构由机械臂的带动下伸入基板存储箱内抓取基板，第二吸附组件能够相对支撑结构伸缩运动，用于带动抓取的基板的至少一侧边发生形变，以使抓取的基板与基板存储箱内的基板分离；第一吸附组件和第二吸附组件还用于在机械臂的带动下将基板传送至预设位置后释放基板。本申请实施例能够避免由于基板相互吸附导致抓取失败，从而大幅提高基板抓取的成功率以及提高传输良率。