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晶圆夹持装置及晶圆转移系统

基本信息

申请号	CN202111477595.6	申请日	-
公开（公告）号	CN114188268A	公开（公告）日	2022-03-15
申请公布号	CN114188268A	申请公布日	2022-03-15
分类号	H01L21/687（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I	分类	基本电气元件;
发明人	吴涛;孙增强	申请（专利权）人	北京七星华创集成电路装备有限公司
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人	彭瑞欣;王婷
地址	101312北京市顺义区天竺综合保税区竺园三街6号
法律状态	-

摘要

本发明提供一种晶圆夹持装置及晶圆转移系统，其中晶圆夹持装置包括一对第一夹持件、一对第二夹持件及开合驱动机构，开合驱动机构选择性驱动一对第一夹持件及一对第二夹持件中的至少一者合拢或张开，各第一夹持件的第一夹持部具有交替设置的第一夹槽和第一避让槽，各第二夹持件的第二夹持部具有交替设置的第二夹槽和第二避让槽，第一夹槽和第二夹槽用于夹持晶圆，两个第一夹持部与两个第二夹持部分别对应设置，在相对应的第一夹持部和第二夹持部中，各第一避让槽对应于一个第二夹槽以用于避让该第二夹槽夹持的晶圆，各第二避让槽对应于一个第一夹槽以用于避让该第一夹槽夹持的晶圆。上述装置实现一次夹持两组晶圆，以缩短工作节拍，提高工作效率。