短流程高效率的高纯铜及铜合金溅射靶材制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202111401765.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114196926A | 公开（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申请公布号 | CN114196926A | 申请公布日 | 2022-03-18 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I;C21D9/00（2006.01）I;C22C1/02（2006.01）I;C22C9/01（2006.01）I;C22C9/05（2006.01）I;C22F1/08（2006.01）I;B23P15/00（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王宇;万小勇;齐琦琦;罗俊锋;何金江;康燕茹;刘楠;蒋媛媛;王焕焕;滕海涛;李勇军 | 申请（专利权）人 | 有研亿金新材料（山东）有限公司 |
| 代理机构 | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈波 |
| 地址 | 102200 北京市昌平区超前路33号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出一种短流程高效率高纯铜及铜合金溅射靶材制备方法，其包括以下步骤：第一步，高纯方形铸锭制备；第二步，热轧厚板制备；第三步，等温退火热处理；第四步，靶材机加工；第五步，后处理。本发明采用方形铸锭，将传统溅射方法中的多步环节进行归一化处理，即对方形铸锭进行整体轧制变形加工和热处理，获得大尺寸的板坯，然后根据靶材成品下料需求在板坯上直接进行切割。相对于传统制备方法，本发明所提供的短流程高效率方法可显著提高生产效率、降低生产成本，同时有利于实现自动化，适合大批量生产。 |
