一种铝钪合金靶材的制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202011535127.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112708864A | 公开（公告）日 | 2021-04-27 |
| 申请公布号 | CN112708864A | 申请公布日 | 2021-04-27 |
| 分类号 | C23C14/35;C22C1/03;C22C21/00;C22C28/00 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 丁照崇;李勇军;贾倩;曹晓萌;庞欣;滕海涛;关静;曲鹏;李利利;杜文路 | 申请（专利权）人 | 有研亿金新材料（山东）有限公司 |
| 代理机构 | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄家俊 |
| 地址 | 102200 北京市昌平区超前路33号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了属于磁控溅射靶材制造技术领域的一种铝钪合金靶材的制造方法。所述铝钪合金靶材制造方法为：以铝块、粒度为5～50微米的1～4种铝钪中间化合物球形粉为原料，置于氧化铝或氧化锆熔炼坩埚内，经过700～900℃的中频感应熔炼及电磁搅拌，使得铝块完全熔化，而铝钪中间化合物粉体不熔化，最终形成铝钪中间化合物粉体均匀分散其间的高温铝浆料；然后将高温铝浆料快速浇铸到模具内，冷却凝固一次成型得到近成品尺寸靶坯；然后对该靶坯进行机加工得到铝钪合金靶材。 |
