一种镍钒溅射靶材的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201911164952.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111004985A | 公开（公告）日 | 2020-04-14 |
| 申请公布号 | CN111004985A | 申请公布日 | 2020-04-14 |
| 分类号 | C22F1/10;C22C19/03;C23C14/34 | 分类 | 冶金；黑色或有色金属合金；合金或有色金属的处理; |
| 发明人 | 郭姗姗;曾浩;张巧霞;王焕焕;万小勇;陈畅;李勇军;陈明 | 申请（专利权）人 | 有研亿金新材料（山东）有限公司 |
| 代理机构 | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄家俊 |
| 地址 | 102200 北京市昌平区超前路33号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于金属材料加工和微电子材料制造技术领域的一种镍钒溅射靶材的制备方法。所述镍钒溅射靶材的制备方法，包括对镍钒铸锭依次进行1)热锻造、2)退火、3)冷变形和4)二次退火。所述镍钒溅射靶材中V的含量为7±0.7％，镍钒铸锭的纯度为99.9％‑99.995％。所得镍钒溅射靶材的晶粒度≤150μm，晶粒细小，分布均匀。本发明所述的镍钒溅射靶材，纯度高，在99.9％以上；组织结构致密无气孔，晶粒细小均匀，晶粒度≤150μm，无磁性，溅镀效率高，可广泛应用于电子元器件、通讯、太阳能光伏光电等行业。 |
