光刻机外围设备集成监测系统及监测方法
基本信息
| 申请号 | CN202110566978.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113406864A | 公开（公告）日 | 2021-09-17 |
| 申请公布号 | CN113406864A | 申请公布日 | 2021-09-17 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I;G01D21/02（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 杨青;韩雍;谢华;陈欣健;高姝怿 | 申请（专利权）人 | 上海顺灏新材料科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海湾谷知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 肖进 |
| 地址 | 200331上海市普陀区真陈路200号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光刻机外围设备集成监测系统，包括：监控PLC、网络连接装置、车间空调系统、空压机、UPS、通讯模块、触摸屏和远程终端，所述监控PLC采集所述车间空调系统、空压机和UPS的运行参数，监测运行状态；所述监控PLC、所述通讯模块和所述触摸屏通过所述网络连接装置进行通信；所述远程终端通过互联网与所述通讯模块进行通信。本发明对各个设备运行状态采集和监控，并实时显示。本发明还公开了光刻机外围设备集成监测系统的监测方法。 |
