一种用于光刻机净化车间的净化装置
基本信息
| 申请号 | CN202123271504.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216901324U | 公开（公告）日 | 2022-07-05 |
| 申请公布号 | CN216901324U | 申请公布日 | 2022-07-05 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 蒋传亚;姚梁;杨青;韩雍;谢华;王东升 | 申请（专利权）人 | 上海顺灏新材料科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海湾谷知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 200331上海市普陀区真陈路200号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于光刻机净化车间的净化装置，连接光刻机，包括：无油空压机；设置在所述无油空压机后面的第一储气罐；设置在所述第一储气罐后面，用于干燥压缩空气的冷干机；设置在所述冷干机后面，用于去除压缩空气中水分的吸干机；设置在所述吸干机后面，用于对压缩空气进行热交换的热交换器；设置在所述热交换器后面，用于储存热交换后的压缩空气的第二储气罐；连通所述第二储气罐和光刻机二合一管路。本实用新型能够有效解决净化车间内不可见微粒、极小灰尘净化的问题。 |
