一种增强水泵叶轮耐磨性的涂层材料及涂镀方法
基本信息
| 申请号 | CN202110759043.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113463046A | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN113463046A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;C23C14/02（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 吕智云;原魁 | 申请（专利权）人 | 大连德泰控股有限公司 |
| 代理机构 | 广东有知猫知识产权代理有限公司 | 代理人 | 崔新芬 |
| 地址 | 116600辽宁省大连市大连经济技术开发区辽河西路128号工业团地管理中心北四楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了：一种增强水泵叶轮耐磨性的涂层材料及涂镀方法，用真空泵将腔体内抽至真空度3‑6×10‑3pa，将偏压调至175‑225V，在纯氩气的条件下对样品进行溅射清洗，此时的腔内的工作气压为4.5‑5.5Pa，打开溅射电源，将功率调至650‑750W，在纯氩气的条件下对Ti靶材溅射清洗，之后打开样品挡板，开始沉积Ti的过渡层，随后关闭样品挡板，打开节流阀，将腔内氩气排出，此时的腔内的工作气压为0.45‑0.55Pa。将功率调至900W，对样品溅射清洗，等到镀膜结束后，关闭溅射电源，关闭靶材挡板，在真空条件下冷却样品至40℃以下，然后关机放气，取出样品，能够有效的提高叶轮表面的摩擦力，同时防止减小设备的耐损度，防止设备老化，提高使用寿命。 |
