连续镀膜系统及其方法
基本信息
| 申请号 | CN201610996798.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108070841A | 公开（公告）日 | 2018-05-25 |
| 申请公布号 | CN108070841A | 申请公布日 | 2018-05-25 |
| 分类号 | C23C14/56;C23C16/54;C23C16/455 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘钧;裴世铀;苏永顺 | 申请（专利权）人 | 无锡威迪变色玻璃有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 无锡威迪变色玻璃有限公司;合肥威迪变色玻璃有限公司 |
| 地址 | 214161 江苏省无锡市金桂路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种连续镀膜系统及其方法，其中，所述连续镀膜系统包括：多个镀膜腔体单元，每个镀膜腔体单元包括第一缓冲腔、镀膜工艺腔和第二缓冲腔，镀膜工艺腔能够采用多种镀膜工艺；传输装置，用于传输多个携带基板的基板架，使多个基板架依次通过镀膜腔体单元；控制装置，用于按照生产节拍控制镀膜工艺腔对基板进行镀膜、以及控制传输装置传输多个基板架；生产节拍包括第一时间段和第二时间段，在第一时间段，对镀膜工艺腔内的基板镀膜，在第二时间段内，在静态或扫描镀膜工艺流程下镀膜工艺腔停止镀膜，且以第一传输速度将基板架传输预设距离，或者在第二时间段内，在动态镀膜工艺流程下控制镀膜工艺腔连续镀膜，及将基板架匀速地传输预设距离。 |
