硅片收片装置

基本信息

申请号 CN202122277815.2 申请日 -
公开(公告)号 CN215923934U 公开(公告)日 2022-03-01
申请公布号 CN215923934U 申请公布日 2022-03-01
分类号 B65H29/16(2006.01)I;B65H29/24(2006.01)I;B65H29/60(2006.01)I;B65H29/52(2006.01)I;B65H31/02(2006.01)I 分类 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料;
发明人 卞海峰;李昶;薛冬冬 申请(专利权)人 无锡奥特维科技股份有限公司
代理机构 无锡永乐唯勤专利代理事务所(普通合伙) 代理人 章陆一;孙际德
地址 214000江苏省无锡市新区珠江路25号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种硅片收片装置,包括主输送机构、输送过渡机构、吸盘横移机构、支线输送机构及硅片收片机构;主输送机构被配置为将多片硅片依次输送至输送过渡机构;输送过渡机构与吸盘横移机构被配置为将输送过渡机构上接收的硅片交替输送至支线输送机构;支线输送机构被配置为将接收到的硅片输送至硅片收片机构。本实用新型通过输送过渡机构与吸盘横移机构将硅片从主输送机构交替输送至支线输送机构,可充分利用输送过渡机构与吸盘横移机构的空载返程时间,提高支线输送机构的输送频率,进而提高硅片的收片效率。