一种声表面波元件的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201210184716.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102694518A | 公开（公告）日 | 2012-09-26 |
| 申请公布号 | CN102694518A | 申请公布日 | 2012-09-26 |
| 分类号 | H03H3/08(2006.01)I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 林波 | 申请（专利权）人 | 台州欧文电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 317525 浙江省温岭市大溪镇山市应钱工业区白塔路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种声表面波元件的制备方法，属于声表面波技术领域。它解决了现有的声表面波制备方法良率不高的问题。本发明声表面波元件的制备方法，其包括步骤：S1：真空磁控溅射镀膜；真空磁控溅射镀膜时，真空度控制在1.2X10-7至2x10-7乇，加热温度最高为400℃，溅射速度为1.2um/min；S2：均匀涂感光胶；S3：光刻。本发明通过采用特殊工艺制备声表面元件，通过控制生产精度和生产环境使得声表面波元件的良品率在大规模生产时能达到95％以上，节约材料且便于大规模化推广和应用。 |
