一种用于精密掩模板对准的微型装置
基本信息
| 申请号 | CN201410319889.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104064505A | 公开（公告）日 | 2014-09-24 |
| 申请公布号 | CN104064505A | 申请公布日 | 2014-09-24 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 包文中;胡荣民;陈慧芬 | 申请（专利权）人 | 南通威倍量子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 226300 江苏省南通市通州区金沙镇银河大桥西首 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种用于精密掩模板对准的微型装置，包括底盘，其特征在于：还包括一独立的正方形的工作平台，所述工作平台的四个侧边均设有滑轨一，所述每个滑轨一上咬合有滑块一，每个滑块一的下部套在滑轨二上，所述滑轨二与底盘固定，所述工作平台的上方连接有手动旋转平台，所述旋转平台的周围还设有一竖直方向的高度调节机构，所述高度调节机构固定在底盘上。本发明与现有技术相比，其显著优点为：体积小巧，特别是厚度，定位精确，操作简单，结构简单，实现成本低廉，有利于生产安装和维护。 |
