用于制备透明导电薄膜的锌铝氧化物靶材
基本信息
| 申请号 | CN00129797.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN1142554C | 公开（公告）日 | 2004-03-17 |
| 申请公布号 | CN1142554C | 申请公布日 | 2004-03-17 |
| 分类号 | H01B1/08;C04B35/01 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 赵大庆;庄大明;方玲;梁展鸿;俞锦方;沈淦荣;杨伟方 | 申请（专利权）人 | 金洲集团有限公司 |
| 代理机构 | 北京清亦华专利事务所 | 代理人 | 廖元秋 |
| 地址 | 100084北京市海淀区清华园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于光电材料技术领域，涉及用于制备透明导电薄膜的锌铝氧化物靶材。其特征在于，用纯度不低于99.9％的氧化锌粉末与纯度不低于99.9％的氧化铝粉末或纯铝粉末相互混合均匀，烧结成密度不低于理论密度的94％的块体，用该靶材制备透明导电薄膜的电阻率达10-4Ω.cm量级。本发明具有成分简单、经济、膜基附着力强，使用寿命长、性能好，镀膜不起斑点、耐蚀耐磨、色泽漂亮等特点。用于镀膜制造成本低廉，无毒，易于实现掺杂，且ZAO薄膜在等离子体中稳定性好，是ITO的替代产品，尤其是在太阳能电池透明电极领域。 |
