一种半导体制造业用超纯不锈钢
基本信息
| 申请号 | CN202111120319.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114032450A | 公开（公告）日 | 2022-02-11 |
| 申请公布号 | CN114032450A | 申请公布日 | 2022-02-11 |
| 分类号 | C22C38/02（2006.01）I;C22C38/04（2006.01）I;C22C38/42（2006.01）I;C22C38/44（2006.01）I;B21C1/00（2006.01）I;C21D1/26（2006.01）I;C21D6/00（2006.01）I;C22B9/18（2006.01）I;C22B9/20（2006.01）I;C22C33/04（2006.01）I | 分类 | 冶金；黑色或有色金属合金；合金或有色金属的处理; |
| 发明人 | 时文红;王晓伟 | 申请（专利权）人 | 苏州金立鑫特材科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京贵都专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李新锋 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市苏州高新区通安镇金通路16号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明专利公开了一种半导体制造业用超纯不锈钢，所述半导体制造业用超纯不锈钢的组成部分按照质量百分比计为：碳0.03，锰0.5，硅0.75，磷0.45，硫0.005‑0.010，铬16‑18，镍10‑14，钼2‑3，铜0.30，氮0.51，余量为铁，该不锈钢采用三重熔炼工艺，所述第一重为真空感应熔炼（VIM），所述第二重为电渣重熔（ESR），所述第三重为真空自耗电弧熔炼（VAR），本发明专利采用我国本地市场的钢材作为坯料，经过VIM+ESR+VAR三重熔炼的特殊工艺，将其制造成符合半导体制造业应用的HP、UHP等级的316L不锈钢，从而满足了目前市场上的需求，同时解决了我国半导体制程相关设备对国外的依赖度较高，且制造半导体的工艺存在诸多缺陷，不能满足市场大规模的产业化生产等问题。 |
