具有可再生性能的静电卡盘及其成型方法
基本信息
| 申请号 | CN202011106884.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112018021A | 公开（公告）日 | 2020-12-01 |
| 申请公布号 | CN112018021A | 申请公布日 | 2020-12-01 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 杨冬野;袁蕾 | 申请（专利权）人 | 苏州芯慧联半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 汤东凤 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市常熟市常熟高新区技术产业开发区金门路2号2幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明揭示了具有可再生性能的静电卡盘及其成型方法，具有可再生性能的静电卡盘包括底座、设于底座顶部的绝缘层、设于绝缘层顶部的介电层、夹持内嵌设于绝缘层和介电层之间的电极层、以及设于介电层表面的由类金刚石薄膜制成的若干凸台；若干凸台沿介电层圆心呈数个不同直径环绕的圆形间断分布，介电层表面设有若干沿其不同直径方向分布的冷却槽，若干凸台的表面架置设有晶圆基板。本发明实现了抑制晶圆与介电层直接接触产生的磨耗，抑制微粒的产生。 |
