用于半导体基板的搬运手臂
基本信息
| 申请号 | CN202022825336.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212342593U | 公开（公告）日 | 2021-01-12 |
| 申请公布号 | CN212342593U | 申请公布日 | 2021-01-12 |
| 分类号 | H01L21/677;H01L21/683 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 杨冬野;袁蕾 | 申请（专利权）人 | 苏州芯慧联半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 汤东凤 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市常熟市常熟高新区技术产业开发区金门路2号2幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型揭示了用于半导体基板的搬运手臂，包括固定板、可拆卸连接固定板同侧且平行间隔设置的多个条形支撑体、多个嵌入条形支撑体内的吸附组件，所述条形支撑体底部设有连通各吸附组件的真空吸附管，所述吸附组件包括固定座、设于固定座底部的固定块、设于固定座顶部的固定槽、设于固定槽中的安装座、弹性嵌入安装座内的盖板、设于盖板内部空腔中用于弹性支撑固定座与盖板的吸盘；所述固定块中贯穿设有连通真空吸附管和盖板内部空腔的真空孔，盖板上开设有连通其内部空腔的吸附孔。本实用新型实现了提高搬运手臂的稳定性，具备抗震性和抗氧化性。 |
