干法刻蚀机用多功能安装调试平台
基本信息
| 申请号 | CN202010519993.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111584410A | 公开（公告）日 | 2020-08-25 |
| 申请公布号 | CN111584410A | 申请公布日 | 2020-08-25 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 杨冬野;袁蕾 | 申请（专利权）人 | 苏州芯慧联半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 汤东凤 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市常熟市常熟高新区技术产业开发区金门路2号2幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明揭示了干法刻蚀机用多功能安装调试平台，包括升降移动的升降平台装置、设于升降平台装置内的旋转装置、以及设于旋转装置顶部的伸缩平台装置；伸缩平台装置包括基板、设于基板顶部的导轨连扳、设于导轨连扳上沿其长度方向设置的上导轨和下导轨、配合上导轨沿其滑动的上手臂支架、配合下导轨沿其滑动的下手臂支架、以及相对平行设于上手臂支架侧边和设于下手臂支架侧边的若干手臂支撑体，手臂支撑体承载待刻蚀产品，旋转装置内旋转的主轴连接基板。本发明实现了在干法刻蚀机内有效调试液晶显示屏的位置，达到最佳刻蚀效果。 |
