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一种静电卡盘

基本信息

申请号 CN201911405456.5 申请日 -
公开（公告）号 CN111900117A 公开（公告）日 2020-11-06
申请公布号 CN111900117A 申请公布日 2020-11-06
分类号 H01L21/683(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 杨冬野;袁蕾 申请（专利权）人 苏州芯慧联半导体科技有限公司
代理机构 南京知识律师事务所 代理人 高玲玲
地址 215500江苏省苏州市常熟市高新技术产业开发区金门路2号2幢
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种静电卡盘，其结构包含基板、绝缘层、电极层、第一诱电层及第二诱电层。本发明的静电卡盘可以抑制因漏电发生的异常放电，提高其电气特性及耐久性。