一种多头纳米压印装置
基本信息
| 申请号 | CN201520436329.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204832765U | 公开（公告）日 | 2015-12-02 |
| 申请公布号 | CN204832765U | 申请公布日 | 2015-12-02 |
| 分类号 | G03F7/00(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 苏州讯鼎光电科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 210028 江苏省南京市栖霞区和燕路371号东南大学科技园科创楼C405 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种多头纳米压印设备，主要包括：紫外光源系统1，模板固定支撑板2，压印模板3，衬底固定系统4，衬底传输系统5，载片系统6，大理石减震台7，支撑系统8，控制系统9。其中衬底固定系统4、衬底传输系统5、载片系统6、支撑系统8固定于大理石减震台7，通过支撑系统8固定模板固定支撑板2、将模板3固定在模板固定支撑板2上，通过控制系统控制整个压印过程。实现全自动热压印、紫外压印及热紫外压印过程，为纳米压印衬底图形的量产提供可能。 |
