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一种适用于纳米压印镍模板复制的电铸设备

基本信息

申请号 CN201520768339.6 申请日 -
公开（公告）号 CN205035478U 公开（公告）日 2016-02-17
申请公布号 CN205035478U 申请公布日 2016-02-17
分类号 C25D1/10 分类 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕;
发明人 不公告发明人 申请（专利权）人 苏州讯鼎光电科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 210028 江苏省南京市栖霞区和燕路371号东南大学科技园科创楼C405
法律状态 -

摘要

摘要 一种适用于纳米压印镍模板复制的电铸设备，属于微纳制造和器件制造技术领域。包括直流电源、含镍离子液体的电铸槽、浸于所述电铸槽内的圆饼状阳极体与圆饼状镍板、两端管道分别置于承载有镍离子液体的电铸槽内的对角线端点处的驱动装置以及包含有恒温装置的加热装置，本实用新型提供的一种适用于纳米压印镍模板复制的电铸设备，通过驱动装置驱动镍离子液体在电铸槽内循环流动，在恒温装置加热装置的共同作用下使镍离子液体温度保持恒定，通过直流电源，使与阳极体相连的圆饼状镍板中的镍离子逐渐沉积到阴极体上，完成了镍模板的复制。