一种紫外光固化纳米压印光刻胶及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201510637694.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105242493A | 公开（公告）日 | 2016-01-13 |
| 申请公布号 | CN105242493A | 申请公布日 | 2016-01-13 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 苏州讯鼎光电科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 210028 江苏省南京市栖霞区和燕路371号东南大学科技园科创楼C405 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种紫外光固化纳米压印光刻胶及其制备方法，该光刻胶包括：环氧丙烯酸酯5％-20％、紫外光引发剂1％-5％、乙二醇单异丙基醚30％-70％、活性稀释剂10％-15％、表面活性剂10％-20％、有机硅杂化材料5％-10％、其他微量助剂0.5％-2％。在无紫外光的条件下，先往反应釜中加入乙二醇单异丙基醚，在80转/分钟的搅拌下加入活性稀释剂、环氧丙烯酸酯，3分钟后加入紫外光引发剂，待完全溶解后加入表面活性剂、有机硅杂化材料和微量助剂。5分钟后用2000目滤网过滤得成品。该成品透明均一、有良好的储存性能，且粘度较低，硅杂化材料有效保证了其抗刻蚀性能，能得到高分辨率的纳米图案。 |
