一种钝化层的测量方法和太阳电池的制备方法

基本信息

申请号 CN202110609332.X 申请日 -
公开(公告)号 CN113345815A 公开(公告)日 2021-09-03
申请公布号 CN113345815A 申请公布日 2021-09-03
分类号 H01L21/66(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 苏荣;王璞;李忠涌;王岚;李书森;黄军;邓明璋;谢毅;张国志 申请(专利权)人 通威太阳能(成都)有限公司
代理机构 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 吕露
地址 610400四川省成都市金堂县淮口镇金乐路东段1号(金堂工业园区内)
法律状态 -

摘要

摘要 一种钝化层的测量方法和太阳电池的制备方法,属于太阳电池领域。测量方法包括:提供具有钝化层的测试样片;确定钝化层的期望获得的目标参数;根据钝化层的简化测试模型,确定测量所需的第一条件参数;利用第一条件参数,通过椭圆偏光法在椭圆偏振光谱仪上对测试样片中的钝化层进行检测,以获得对应于目标参数的第一测量结果参数。该测量方法简单易于实施,且能够获得合理精度的测量数据。