一种基于激光扩散的全背接触IBC电池制备方法及电池
基本信息
| 申请号 | CN201910811487.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110534618B | 公开（公告）日 | 2021-08-06 |
| 申请公布号 | CN110534618B | 申请公布日 | 2021-08-06 |
| 分类号 | H01L31/18;H01L31/068;H01L31/0224 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王岚;陈坤;张忠文;谢毅;陈明 | 申请（专利权）人 | 通威太阳能（成都）有限公司 |
| 代理机构 | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 | 代理人 | 谢建 |
| 地址 | 620000 四川省眉山市东坡区修文镇进修路8号附1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于激光扩散的全背接触IBC电池制备方法及其电池，涉及太阳能电池技术领域，本发明制备方法包括以下步骤：碱制绒、P扩散、边缘隔离、单面抛光、激光掺杂、前端PSG层和激光损伤层清除、热氧化、沉积SixNy减反膜、激光烧蚀和丝网印刷金属化，本发明制得的电池将正面栅线和发射极都设于电池背面，减少遮光面积，提升了短路电流，本发明通过激光扩散制结和做局域背场，省去了离子注入和光刻做掩膜的工艺，降低了IBC高效电池的制作成本，采用丝网印刷的方式做金属化，省去了掩膜法加电镀做金属化的工艺，降低了IBC高效电池的制作成本和工艺步骤，适用于大规模的高效低成本电池生产。 |
