一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉
基本信息
| 申请号 | CN202021943070.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213977959U | 公开（公告）日 | 2021-08-17 |
| 申请公布号 | CN213977959U | 申请公布日 | 2021-08-17 |
| 分类号 | C30B31/10（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 雷小龙;李宝飞;胡云川;何长发;匡成国;彭欣欣;阿海克古;董纪刚 | 申请（专利权）人 | 通威太阳能（成都）有限公司 |
| 代理机构 | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 | 代理人 | 邓芸 |
| 地址 | 610213四川省成都市双流区西南航空港经济开发区工业集中发展区六期内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉，涉及半导体太阳能扩散设备领域，本实用新型包括加热炉和设置在加热炉内的石英炉管，石英炉管一侧延伸出加热炉设置有炉门，所述石英炉管另一侧设置有延伸出加热炉进气口和排气口，石英炉管内设置有与排气口配合的尾气管，所述的进气口处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管管尾的进气管组件，排气口处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管管尾及尾气管外壁的防腐蚀出气管组件；本实用新型具有结构简单，用以解决偏磷酸沉积，长期腐蚀石英炉管问题，降低了人工劳动强度。 |
