一种真空机台快速复机方法
基本信息
| 申请号 | CN202110574718.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113345979A | 公开（公告）日 | 2021-09-03 |
| 申请公布号 | CN113345979A | 申请公布日 | 2021-09-03 |
| 分类号 | H01L31/18（2006.01）I;C23C14/22（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王海光;占建;胡广豹;章伟冠;苏世杰;王秀鹏 | 申请（专利权）人 | 通威太阳能（成都）有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 吕露 |
| 地址 | 610000四川省成都市双流区西南航空港经济开发区工业集中发展区六期内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请实施例提供一种真空机台快速复机方法，涉及太阳能电池生产技术领域。真空机台快速复机方法用于使真空机台的腔室内的真空值达到P0，温度达到T0，包括以下步骤：S1、清理真空机台的腔室内的积水；S2、使腔室内的真空值降低至P1，P1＞P0，使腔室内的温度升温至T1，T1＞T0；S3、使腔室的真空值进一步降低至P0，使腔室内的温度降温至T0。该真空机台快速复机方法能够缩短复机时间，满足快速复机需求，提高真空机台的稼动率。 |
