一种圆柱靶磁铁顶出装置
基本信息
| 申请号 | CN202022508273.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214193437U | 公开（公告）日 | 2021-09-14 |
| 申请公布号 | CN214193437U | 申请公布日 | 2021-09-14 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 赵岩;苗润财;苗润发;苗伟伟;王健 | 申请（专利权）人 | 上海繁枫真空科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海互顺专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 成秋丽 |
| 地址 | 201507上海市金山区金山工业区亭卫公路3877号2幢305室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及磁控溅射镀膜设备技术领域，公开了一种圆柱靶磁铁顶出装置，包括靶材，所述靶材的内侧设置有极靴，所述极靴的外侧固定连接有若干个伸缩器，所述伸缩器的外侧设置连接有磁铁，所述磁铁的底部固定连接有连接板，所述连接板的底部固定连接有连接柱，所述连接柱的底部设置连接有固定柱，所述连接柱的外侧固定连接有复位弹簧，且连接柱的内侧固定连接有润滑层，所述连接柱的内侧底端固定连接有限位板。本实用新型通过连接柱、复位弹簧、极靴和磁铁，当极靴内腔增大气压，安装在连接柱上的磁铁被压缩，连接柱带动磁铁向外伸出，当气压减小，复位弹簧还原到初始状态，连接柱缩回，便于工作人员的使用。 |
