一种基于神经网络的工艺参数分析方法、设备以及计算机存储介质专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种基于神经网络的工艺参数分析方法、设备以及计算机存储介质

基本信息

申请号	CN202110667822.5	申请日	-
公开（公告）号	CN113326853A	公开（公告）日	2021-08-31
申请公布号	CN113326853A	申请公布日	2021-08-31
分类号	G06K9/46（2006.01）I;G06K9/62（2006.01）I;G06N3/04（2006.01）I;G06N3/08（2006.01）I	分类	计算；推算；计数;
发明人	雷晓强;韩邦;翟正军;赵楠;李元博;史琛	申请（专利权）人	西安隆基智能技术有限公司
代理机构	北京知迪知识产权代理有限公司	代理人	王胜利
地址	710018陕西省西安市经济技术开发区草滩生态产业园尚苑路8369号隆基乐叶A1号办公大楼10楼
法律状态	-

摘要

本发明公开一种基于神经网络的工艺参数分析方法、设备以及计算机存储介质，涉及神经网络技术领域，以解决设备的多个工艺参数之间关联性较大的技术问题。上述基于神经网络的工艺参数分析的方法包括：根据多个工艺过程产生的工艺参数的时序数据创建测试数据集，其中，每个工艺过程均包括多个工艺参数。将测试数据集输入至神经网络分类模型中，提取出各个工艺参数相应的特征向量，其中，神经网络分类模型包括多个门控循环网络，每个门控循环网络用于对一个工艺参数的时序数据进行特征提取。根据特征向量与神经网络分类模型中全连接层的权值，确定相应工艺参数的贡献度向量。根据每个工艺参数相应的贡献度向量，确定相应工艺参数对工艺过程的影响度。