电容式加速度检波器中间可动电极

基本信息

申请号 CN200920029122.8 申请日 -
公开(公告)号 CN201444162U 公开(公告)日 2010-04-28
申请公布号 CN201444162U 申请公布日 2010-04-28
分类号 G01P15/125(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 杨仲华;唐晓刚;张丽霞;牛德芳 申请(专利权)人 威海双丰电子集团有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 264209 山东省威海市高技区火炬路156号
法律状态 -

摘要

摘要 一种电容式加速度检波器中间可动电极,涉及电容式加速度检波器,设有质量块,质量块上均布支撑梁,支撑梁连接边框内侧,质量块上设有金属极板,支撑梁为直形支撑梁,制造工艺简单,成本低,制作过程中不容易形成应力集中,不容易造成变形断裂,电容量一致性好,噪声小,性能稳定,波形失真小,适用于电容式加速度检波器。