一种晶元在线监测方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN201610091124.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107093568B | 公开（公告）日 | 2021-04-09 |
| 申请公布号 | CN107093568B | 申请公布日 | 2021-04-09 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 贺业成;刘宇航 | 申请（专利权）人 | 深圳方正微电子有限公司 |
| 代理机构 | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人 | 吴黎 |
| 地址 | 100871北京市海淀区成府路298号方正大厦9层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供的晶元在线监测方法，首先获取多个晶元的多个测试数据，然后根据每个晶元的测试数据的最大值和最小值之差值判断单个晶元是否出现问题，从而对单个晶元进行报警；此外，还根据每个晶元的测试均值是否超出阈值进行报警，用于监测不同晶元之间的异常，从而实现了对单个晶元以及不同晶元之间的在线监测，提高了监测效率和监测精度。此外，该方案中还计算除了多个质量监测参数Cp、Cpu、Cpl、Cpk、Ca，综合监测晶元的质量状况，通过图表直观的进行显示，提供便利的操作方式。 |
