一种（100）择优取向和高介电常数的锆钛酸铅压电薄膜的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201910430894.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110092662B | 公开（公告）日 | 2021-11-23 |
| 申请公布号 | CN110092662B | 申请公布日 | 2021-11-23 |
| 分类号 | C04B35/491（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 韩梅;王力成 | 申请（专利权）人 | 大连思普乐信息材料有限公司 |
| 代理机构 | 辽宁鸿文知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨植 |
| 地址 | 116085辽宁省大连市高新区广贤路131号4-410 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种（100）择优取向和高介电常数的锆钛酸铅压电薄膜的制备方法，属于压电材料薄膜制备领域。制备步骤包括：1）将钛酸四丁酯加入乙酰丙酮里，再加入乙二醇甲醚、乙酸铅、硝酸锆和甲酰胺，并通过酸碱调节剂调节溶液PH，制备化学式为Pb1.25（ZryTi1‑y）O3和Pb1.10（ZryTi1‑y）O3的两种锆钛酸铅前驱体溶液；2）将两种锆钛酸铅前驱体溶液按照m/n的层数比循环沉积在衬底上，重复沉积至所需厚度，热处理后得到具有（100）晶粒择优取向的锆钛酸铅薄膜。采用本发明方法制备的锆钛酸铅压电薄膜具有（100）晶向取向度高、介电与铁电性能优。 |
