首页/ 安阳市凤凰光伏科技有限公司/ 专利详情

多晶铸锭炉质量流量控制器过滤器

基本信息

申请号 CN201220455120.7 申请日 -
公开（公告）号 CN202830229U 公开（公告）日 2013-03-27
申请公布号 CN202830229U 申请公布日 2013-03-27
分类号 C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;B01D46/00(2006.01)I;F27D19/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 张永坦;孙志刚;刘茂华;韩子强;石坚;赵会前;印亚峰;姚嵩 申请（专利权）人 安阳市凤凰光伏科技有限公司
代理机构 安阳市智浩专利代理事务所 代理人 安阳市凤凰光伏科技有限公司
地址 456400 河南省安阳市滑县产业聚集区大三路南侧
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种多晶铸锭炉质量流量控制器过滤器，涉及多晶铸锭炉生产装置，质量流量控制器前端增加过滤器；过滤器通过卡箍及密封圈连接到质量流量控制器。过滤器的一端口径与质量流量控制器口径相同，另一端口径与氩气进气管道相同。所述过滤器是指精密过滤器中的一种。所述过滤器能滤去氩气的微小杂质颗粒。所述过滤器所承受的压力为0.25MPa以上。本实用新型的有益效果是：质量流量控制器前端增加过滤器，可以进一步净化氩气里边的杂质，避免MFC出现故障，减少设备故障率，节约维修费用，降低生产成本。