一种拼装式自动型晶圆测试用治具
基本信息
| 申请号 | CN202021217370.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212781086U | 公开（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申请公布号 | CN212781086U | 申请公布日 | 2021-03-23 |
| 分类号 | G01R1/04(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 荣国青;门蒙;张健星 | 申请（专利权）人 | 苏州辉垦电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州智品专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王利斌 |
| 地址 | 215134江苏省苏州市工业园区唯亭春辉路5号跨春工业坊5#D | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种拼装式自动型晶圆测试用治具，包括主框架、上安装块、下安装块，所述上安装块和下安装块均安装于主框架上，所述上安装块和下安装块之间设有隔板，所述上安装块、隔板、下安装块上设有相互配合的探针孔，所述探针孔内插装有探针。本实用新型的有益效果是：采用两个安装块对接的安装方法，便于维修和更换，同时对插装的探针具有良好的保护效果，且该测试用治具结构清晰明朗，简学易懂，拼装方便，便于生产加工。 |
