一种手动型晶圆测试用治具
基本信息
| 申请号 | CN202021217368.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212780904U | 公开（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申请公布号 | CN212780904U | 申请公布日 | 2021-03-23 |
| 分类号 | G01R1/04(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 荣国青;门蒙;张健星 | 申请（专利权）人 | 苏州辉垦电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州智品专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王利斌 |
| 地址 | 215134江苏省苏州市工业园区唯亭春辉路5号跨春工业坊5#D | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种手动型晶圆测试用治具，包括主框架、安装块，所述安装块固定在主框架上，所述主框架侧边设有托柄，所述安装块的下方连接有下盖板，所述安装块的上方连接有上盖板，所述安装块、下盖板和上盖板贯穿有相配合的探针孔。本实用新型的有益效果是：采用多个安装块环绕主框架安装，便于探针的安装，且探针插装于安装块内，对探针具有良好的保护效果，同时采用多个定位柱定位，能够保证晶圆在测试过程中不会出现偏移，降低晶圆测试的误宰率，结构简单易懂，便于生产制造，安装、连接、定位精准，拿取方便。 |
