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一种石英舟

基本信息

申请号 CN202120612021.4 申请日 -
公开（公告）号 CN213459672U 公开（公告）日 2021-06-15
申请公布号 CN213459672U 申请公布日 2021-06-15
分类号 H01L21/673（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 周建军;李守卫;杨广伟;陈泉;周军建;郁小虎 申请（专利权）人 义乌晶澳太阳能科技有限公司
代理机构 南京经纬专利商标代理有限公司 代理人 石艳红
地址 322005浙江省金华市义乌市义亭镇同泽路165号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种石英舟，涉及太阳能电池制造技术领域。包括两个相对设置的面板和用于连接两个面板的连接组件，连接组件包括两个上连接板和两个下连接杆，两个上连接板的两端分别与面板的上半部连接，两个下连接杆的两端分别与面板的下半部连接，连接组件上至少设置有两组载片架，且载片架上设置有与连接组件的长度方向平行的插槽，还包括有硅片，插槽可供硅片插入，且插入后的硅片与所述面板垂直。本实用新型提供的一种石英舟，可以有效避免硅片对工艺气体的阻挡，可以让工艺腔室内气体快速分布均匀，提升反应后方阻/氧化层均匀性。