多弧离子镀膜装置
基本信息
| 申请号 | CN201110292907.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103031525B | 公开（公告）日 | 2017-04-19 |
| 申请公布号 | CN103031525B | 申请公布日 | 2017-04-19 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 展亚男 | 申请（专利权）人 | 南通大富服饰有限公司 |
| 代理机构 | 北京同辉知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 魏忠晖 |
| 地址 | 226200 江苏省南通市启东市启东经济开发区南苑西路1386号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种多弧离子镀膜装置，其包括一反应室、设置于反应室的腔体顶壁的至少一靶材及设置于反应室的腔体底壁的一装载台，该装载台用以装载基材，该反应室内于装载台的上方还设置有一罩体，该靶材和罩体之间设置有第一电源控制装置以设置靶材和罩体之间的第一负偏压，该罩体和基材之间设置有第二电源控制装置以设置罩体和基材之间的第二负偏压。本发明多弧离子镀膜装置能够有效于基材的尖端部进行沉积镀膜。 |
