一种CVD工具真空镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN202022503970.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213538096U | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN213538096U | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | C23C16/448（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 朱永凯;邵永杰;曾道敏 | 申请（专利权）人 | 杭州道亦杰合智创科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州兴知捷专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 董建军 |
| 地址 | 311215浙江省杭州市萧山区经济技术开发区红垦农场红泰六路489号30幢3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种CVD工具真空镀膜机包括：镀膜室；热熔组件，所述热熔组件固定连接于镀膜室的底部；真空组件，所述真空组件固定连接于镀膜室底部的两侧，所述真空组件包括两个抽气管，两个所述抽气管的顶部分别与镀膜室底部的两侧连通，两个所述抽气管的顶部分别贯穿镀膜室底部的两侧且延伸至镀膜室的内部；夹持组件，所述夹持组件固定连接于镀膜室的两侧；辅助组件，所述辅助组件固定连接于镀膜室的顶部。本实用新型提供一种CVD工具真空镀膜机采用热熔组件通过改变电压的大小改变发热体产生的温度，配合被热熔件的熔点汽化温度进行调整，真空组件通过真空气泵抽空镀膜室内部空气，并为夹持组件夹持镀膜件提供动力，节约能源消耗。 |
