一种PVD工具真空镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN202022498721.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213538078U | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN213538078U | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I;C23C14/52（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 邵永杰;曾道敏;朱永凯 | 申请（专利权）人 | 杭州道亦杰合智创科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州兴知捷专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 董建军 |
| 地址 | 311215浙江省杭州市萧山区经济技术开发区红垦农场红泰六路489号30幢3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种PVD工具真空镀膜机。所述PVD工具真空镀膜机，包括支架；操作组件；所述操作组件操作组件的底部固定连接于所述支架的顶部；真空组件，所述真空组件的顶部固定连接于所述支架的底部；镀膜组件，所述镀膜组件的底部固定连接于所述操作组件内壁的底部，固定组件，所述固定组件的两侧固定连接于所述操作组件内壁两侧之间。本实用新型提供的PVD工具真空镀膜机具有操作组件的使用可以有效的提供一个真空的环境，并且可以通过玻璃观察窗及时看到内部镀膜状况，然后通过固定组件的使用可以稳定的固定住需要镀膜的工具，提高了装置的实用性，通过镀膜组件的使用可以均匀将工具的表面镀膜，组件相互配合使用提高了生产的效率。 |
