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一种抗ESD能力的测试装置及方法

基本信息

申请号 CN201310044261.9 申请日 -
公开（公告）号 CN103105558B 公开（公告）日 2015-06-03
申请公布号 CN103105558B 申请公布日 2015-06-03
分类号 G01R31/00(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 宋良奎;刘东;周自立;姚伏恒;刘海峰;周卫华 申请（专利权）人 深圳市中显微电子有限公司
代理机构 广东星辰律师事务所 代理人 深圳市中显微电子有限公司
地址 518083 广东省深圳市盐田区北山工业区6栋1-5层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于电子元器件抗ESD能力的测试技术领域，尤其涉及一种抗ESD能力的测试装置及方法。本发明抗ESD能力的测试装置包括ESD测试平台、定位装置、被测器件和静电枪，所述定位装置位于ESD测试平台的上方，所述被测器件置于定位装置内，通过所述定位装置将静电枪的释放端与被测器件表面的测量距离固定在一定标准值。本发明实施例的抗ESD能力的测试装置及方法可依据空气放电和接触式放电的不同需求，通过来高度控制装置微调可升降支架的高度，以满足在空气式放电测试时使静电枪的释放端与被测器件表面的距离固定在一定标准值，并可依据被测器件的大小进行差异化设计和制作，以满足测量时的定位需要。