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一种用于反应室的晶片传动装置

基本信息

申请号	CN201922123814.5	申请日	-
公开（公告）号	CN211455662U	公开（公告）日	2020-09-08
申请公布号	CN211455662U	申请公布日	2020-09-08
分类号	H01L21/677(2006.01)I	分类	-
发明人	沈文杰;朱亮;董医芳;祝广辉;汤承伟;俞城;麻鹏达;周航;章杰峰	申请（专利权）人	浙江求是半导体设备有限公司
代理机构	杭州中成专利事务所有限公司	代理人	浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司
地址	311100浙江省杭州市余杭区东湖街道钱江经济开发区龙船坞路96号2幢3层
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体涉及一种用于反应室的晶片传动装置。包括均为内部中空的方形腔体结构的反应室与搬运室，二者之间通过闸阀连通，反应室内设有晶片支撑部件，搬运室内设有机械传送部件；晶片支撑部件包括内环基座和外环基座；内环基座主体为圆盘，圆盘下端面设有同心凸台，内环基座整体纵向横截面呈T型；外环基座呈圆环型，外环基座的内圈为台阶状，内圈台阶尺寸与内环基座外缘尺寸相适配，内环基座嵌设于外环基座内。内环基座下方设有内环支撑架，内环支撑架与升降机构相连；外环基座下方设有外环支撑架，外环支撑架与旋转机构相连。本实用新型操作简单，传送稳定性更好，掉片率更低，满足不同尺寸的晶片的传送需求。