一种基座用轴传动装置
基本信息
| 申请号 | CN202020047989.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211320080U | 公开（公告）日 | 2020-08-21 |
| 申请公布号 | CN211320080U | 申请公布日 | 2020-08-21 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 沈文杰;朱亮;董医芳;祝广辉;汤承伟;俞城;麻鹏达;周航;章杰峰 | 申请（专利权）人 | 浙江求是半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 杭州中成专利事务所有限公司 | 代理人 | 浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 地址 | 311100浙江省杭州市余杭区东湖街道钱江经济开发区龙船坞路96号2幢3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，尤其涉及硅外延生长设备的一种基座用轴传动装置。包括旋转机构、调整机构、升降机构、内轴和外轴；内轴和外轴为圆管状，内轴套在外轴内。磁流体内旋转轴外设有磁流体外环；磁流体内旋转轴上耦接旋转驱动器，带动磁流体的内旋转轴及外轴旋转；升降机构耦接内轴，升降机构包括上下驱动器和内轴固定板，上下驱动器固定端耦接固定在磁流体的内旋转轴上；上下驱动器的运动端与内轴固定板固定连接，内轴底部外套设有波纹管，波纹管件上端固定在外轴底端，下端固定在内轴固定板上。本实用新型通过该结构，可实现外轴及内轴同时旋转，及内轴的可升降功能。 |
