一种用于搬运晶盒的机械手
基本信息
| 申请号 | CN202021252740.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213439671U | 公开（公告）日 | 2021-06-15 |
| 申请公布号 | CN213439671U | 申请公布日 | 2021-06-15 |
| 分类号 | B25J9/02（2006.01）I;B25J9/10（2006.01）I;B25J9/12（2006.01）I;B25J18/00（2006.01）I;B65G47/90（2006.01）I;B25J9/16（2006.01）I | 分类 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手; |
| 发明人 | 朱亮;沈文杰;周建灿;鲁冲昊;陈聪;张凌峰;张磊;谢文;杨希测 | 申请（专利权）人 | 浙江求是半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 杭州中成专利事务所有限公司 | 代理人 | 周世骏 |
| 地址 | 311100浙江省杭州市余杭区东湖街道钱江经济开发区龙船坞路96号2幢3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种用于搬运晶盒的机械手。包括底座、竖梁和机械臂组件。手臂支座设于安装块上端面，手臂支座上端面设有通过同步带连接的一级主动轮和一级从动轮，一级主动轮与手臂驱动电机相连。一级手臂内设有通过同步带相连且传动比为1:2的二级主动轮和二级从动轮，二级主动轮与一级从动轮同轴连接且旋转方向相反。二级手臂内设有通过同步带相连且传动比为2：1的三级主动轮和三级从动轮；三级主动轮与二级从动轮同轴连接且旋转方向相反；三级从动轮与晶盒托盘相连；一级手臂和二级手臂内的同步带轮中心距相等。本实用新型控制简单，性能稳定，结构紧凑，保证定位精度的同时提高了半导体设备内部晶盒传送的效率。 |
