刻蚀机反应腔顶盖的冷却管成型工装
基本信息
申请号 | CN202022199576.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN213495829U | 公开(公告)日 | 2021-06-22 |
申请公布号 | CN213495829U | 申请公布日 | 2021-06-22 |
分类号 | B21D7/16(2006.01)I;B21D43/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 基本上无切削的金属机械加工;金属冲压; |
发明人 | 贾昆良 | 申请(专利权)人 | 江苏先锋精密科技股份有限公司 |
代理机构 | 靖江市靖泰专利事务所(普通合伙) | 代理人 | 陈秀兰 |
地址 | 214500江苏省泰州市靖江市城南园区德裕路8号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了刻蚀机反应腔顶盖的冷却管成型工装,其特点是包括工装本体,工装本体上设置有异形槽,异形槽的初始端与末端设置为互相平行;所述的工装本体还设置有转向工装a和转向工装b,转向工装a与异形槽的初始端相配合,转向工装b与异形槽的末端相配合;所述的异形槽的深度及宽度均大于冷却管的直径;优点是结构简单,便于操作,可以批量制作冷却管,大大提高了工作效率,弯管质量稳定,弯管后的冷却管能快速的埋入刻蚀机反应腔顶盖内,降低因铜管与刻蚀机反应腔顶盖间碰撞产生磕伤的风险,从而提高产品合格率。 |
