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刻蚀机用气体喷淋盘的加工工艺

基本信息

申请号 CN202011062043.4 申请日 -
公开（公告）号 CN112192154A 公开（公告）日 2021-01-08
申请公布号 CN112192154A 申请公布日 2021-01-08
分类号 B23P15/00(2006.01)I 分类 机床；不包含在其他类目中的金属加工;
发明人 贾昆良 申请（专利权）人 江苏先锋精密科技股份有限公司
代理机构 靖江市靖泰专利事务所（普通合伙） 代理人 靖江先锋半导体科技有限公司
地址 214500江苏省泰州市靖江市城南园区德裕路8号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了刻蚀机用气体喷淋盘的加工工艺，包括以下操作步骤；步骤一，设计并加工焊接工装；步骤二，分别加工气体喷淋盘的顶板，进气管，匀流板,底板；其中底板外形留工艺台阶，并加工出定位销孔及装夹用螺纹孔；步骤三，焊接顶板及进气管；步骤四，焊接匀流板；步骤五，利用焊接工装焊接底板；所述的焊接均采用电子束焊，电子束焊的加速电压设置为60KV，电子束电流设置为25A，焊接速度设置为18‑22mm/s，对焦方式设置为表面焦。本发明工艺简单，便于操作，大大提高了产品的一次合格率，减少了返修概率，降低了加工成本。