用于晶圆升降的顶针支撑部件的装配方法

基本信息

申请号 CN202011053640.0 申请日 -
公开(公告)号 CN112192496A 公开(公告)日 2021-01-08
申请公布号 CN112192496A 申请公布日 2021-01-08
分类号 B25B27/00(2006.01)I;F16B11/00(2006.01)I 分类 手动工具;轻便机动工具;手动器械的手柄;车间设备;机械手;
发明人 贾昆良 申请(专利权)人 江苏先锋精密科技股份有限公司
代理机构 靖江市靖泰专利事务所(普通合伙) 代理人 靖江先锋半导体科技有限公司
地址 214500江苏省泰州市靖江市城南园区德裕路8号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种用于晶圆升降的顶针支撑部件的装配方法,包括以下步骤:(a)设计装配工装;(b)加工装配工装;(c)对装配工装进行本色阳极氧化处理;(d)将三个陶瓷顶针放入顶针孔内,在底部安装支撑底座,三个陶瓷顶针插进支撑底座陶瓷顶针孔内;将两个定位销装入支撑底座和装配工装定位销孔中,两个螺钉将支撑底座紧固在装配工装上;(e)用工具轻压陶瓷顶针尾部,使三个陶瓷顶针头部与装配工装接触,在支撑底座上陶瓷顶针孔内灌环氧树脂密封胶固定陶瓷顶针;(f)从装配工装上卸下安装好的顶针支撑部件,放入烤箱,设定温度110~130°烘烤3~4小时即可。本发明装配方便,保证了装配质量,大幅度提高了工作效率。