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用于晶圆升降的顶针支撑部件的装配方法

基本信息

申请号 CN202011053640.0 申请日 -
公开（公告）号 CN112192496A 公开（公告）日 2021-01-08
申请公布号 CN112192496A 申请公布日 2021-01-08
分类号 B25B27/00(2006.01)I;F16B11/00(2006.01)I 分类 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手;
发明人 贾昆良 申请（专利权）人 江苏先锋精密科技股份有限公司
代理机构 靖江市靖泰专利事务所（普通合伙） 代理人 靖江先锋半导体科技有限公司
地址 214500江苏省泰州市靖江市城南园区德裕路8号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种用于晶圆升降的顶针支撑部件的装配方法，包括以下步骤：(a)设计装配工装；（b)加工装配工装；(c）对装配工装进行本色阳极氧化处理；（d)将三个陶瓷顶针放入顶针孔内，在底部安装支撑底座，三个陶瓷顶针插进支撑底座陶瓷顶针孔内；将两个定位销装入支撑底座和装配工装定位销孔中,两个螺钉将支撑底座紧固在装配工装上；(e)用工具轻压陶瓷顶针尾部，使三个陶瓷顶针头部与装配工装接触,在支撑底座上陶瓷顶针孔内灌环氧树脂密封胶固定陶瓷顶针；(f)从装配工装上卸下安装好的顶针支撑部件，放入烤箱，设定温度110~130°烘烤3~4小时即可。本发明装配方便，保证了装配质量，大幅度提高了工作效率。