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具有高温加热功能的晶圆传输装置

基本信息

申请号 CN202022199641.8 申请日 -
公开（公告）号 CN213150746U 公开（公告）日 2021-05-07
申请公布号 CN213150746U 申请公布日 2021-05-07
分类号 H01L21/677(2006.01)I 分类 -
发明人 贾昆良 申请（专利权）人 江苏先锋精密科技股份有限公司
代理机构 靖江市靖泰专利事务所（普通合伙） 代理人 陈秀兰
地址 214500江苏省泰州市靖江市城南园区德裕路8号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种具有高温加热功能的晶圆传输装置,包括铝合金底座、钛合金连接件，所述铝合金底座C面连接端通过螺钉连接有钛合金连接件，铝合金底座D面铠装加热管安装槽内嵌设有铠装加热管，铠装加热管延长端设置有冷端接线帽，冷端接线帽卡设在钛合金连接件的加热管定位板上；所述铠装加热管上另一个冷端接线帽上连接有真空大气转接件，所述真空大气转接件上转接孔与导线连接处设置有环氧树脂密封胶。本实用新型结构简单，重量轻，安装拆卸方便快捷，性能可靠，延长了铝合金底的使用寿命，提供了稳定的晶圆温度，大幅度减少晶圆在工艺腔内加热器上的升温时间，有效提高了生产效率，大幅度降低了生产成本。